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涡轮分子泵系统软件实际操作常见问题及常见问题清除：(1)不可以在前面泵工作中时（前面管路接入）和真空系统处在真空泵情况时将涡轮分子泵停用，不然可能使油蒸气快速过去级管道反流到泵的清理端。

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真空泵的极限压力可以简单理解为这台泵*高能抽到的真空泵。测试一般是盲死抽气口，测试此时真空泵所抽的负压是多少。 6*10-2pa一般是双极旋片式真空泵的极限真空度，意思为0.06pa

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